
Crédito: Arquivo
Aplicável para análise de diversos tipos de amostras das áreas de engenharia, geologia e biologia entre outras.
Fabricante: Carl Zeiss SMT Ltd
Modelo: EVO MA 15
Especificações:
Com possibilidade de análises em alto vácuo (HV, < 10 Pa) e pressão variável (VP, entre 10 e 400 Pa), possui detector de elétrons secundários (SE) utilizados para se obter informações sobre o relevo das amostras e o detector de elétrons retroespalhados (BSE) que fornece imagens com contraste que dependem da profundidade e número atômico das amostras.
Para microanálise de raios-x por feixe de elétrons, o equipamento conta com os detectores para espectrometria de raios-x de dispersão de energia (EDS) e de dispersão de comprimento de onda (WDS). Estas técnicas quando combinadas resultam em uma análise com melhor resolução e menor limite de detecção da concentração de elementos químicos. No caso de amostras planas, polidas e homogêneas, ainda é possível realizar uma análise quantitativa utilizando padrões certificados.
Princípio de funcionamento:
Produz imagens de alta resolução obtidas pela geração de um feixe de elétrons revelando informações sobre a topografia e composição química elementar do material analisado.